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◆平行度[單位：μm]
?將滑臺(tái)固定在基準(zhǔn)平面上。
?在整個(gè)面測量移動(dòng)面相對于基準(zhǔn)平面的平行度，將最大高低差作為平行度。
◆運(yùn)動(dòng)的平行度[單位：μm]
?將滑臺(tái)固定在基準(zhǔn)平面上。
?測量各定位點(diǎn)的基準(zhǔn)平面和移動(dòng)平面上所固定的測量設(shè)備之間的位移。
?最大差值作為運(yùn)動(dòng)平行度。